3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。

4.3.3

   1 按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；

5.4.2 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5.5.6  潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：��

1 使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；

2 對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；

3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾�。氮�(dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

6.2.1 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

6.2.6 在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)�拢瑑羯�產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定;

   1  每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定��

   2  安全出口應(yīng)分散布置,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟,并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗;

   3  丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。

6.2.8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。

6.2.9 潔凈廠房?jī)?nèi)有危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6.3.1 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。

7.1.6 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；��

2 不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；

4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

7.5.1  空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。

7.5.3

   1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；��

2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；

4 對(duì)含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；

5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；

6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；

7 排除有危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)危險(xiǎn)的氣體和粉塵的濃度不大于下限的20%計(jì)；

8 排除有危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。

7.5.4 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

7.5.6 潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；

2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)、手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn)；

3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。

7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

8.3.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。

8.5.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

8.5.2

   1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；

8.5.3

   3 存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。

9.2.3

   3 不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍；

4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；

5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；

10.1.5  潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

10.1.6 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

10.1.7

    2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

10.1.8

1 可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；

3 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施；

4 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

10.2.5 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；

3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；

5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

10.2.6 潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

1 管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；

2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；

3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。

10.4.2 潔凈廠房?jī)?nèi)的特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級(jí)防火門窗。

10.4.3

1 特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中；

2 排風(fēng)機(jī)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；

3 一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；

10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)。儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：  

1 儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；

2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3.0m；

3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。

11.2.1

    1 化學(xué)品儲(chǔ)存間（區(qū)）的儲(chǔ)量不應(yīng)超過該化學(xué)品24h的消耗量；

2 化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲(chǔ)存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫(kù)儲(chǔ)存時(shí)，應(yīng)采用實(shí)體墻分隔；

3 危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在單獨(dú)的儲(chǔ)存間或儲(chǔ)存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；

5 各類化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)。機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源；

6 易爆化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面；

7 輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；

8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)切斷閥。

11.2.2 潔凈廠房?jī)?nèi)采用容器傳送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 嚴(yán)禁在出入口、疏散走廊儲(chǔ)存和分配危險(xiǎn)化學(xué)品。潔凈廠房?jī)?nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。

2 運(yùn)送危險(xiǎn)化學(xué)品的推車運(yùn)載量不得超過250L；單個(gè)容器的容量不應(yīng)超過20L；  

3 物理化學(xué)特性不相容的危險(xiǎn)化學(xué)品不得采用同一推車運(yùn)送。

11.2.3  當(dāng)采用壓力罐輸送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定:

    1 輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸