1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級
集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度,不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。
2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
隨著信息產(chǎn)業(yè)技術的發(fā)展,許多電子產(chǎn)品性能、質量的提高和生產(chǎn)過程的微細化,日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質的供給質量,目前國內外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。
3、精密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
例一、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間
無塵車間空氣潔凈度等級要求
裝配間 ISO 6級
軸承加工間 ISO 5級
例二、一個感光膠片生產(chǎn)用無塵車間
流延機頭部,涂布機頭部 ISO 5級
涂布室,流延機室 ISO 6級