一、管式擴散爐用途 管式擴散爐是我公司根據(jù)客戶需求個性化專業(yè)定制的高溫?zé)崽幚碓O(shè)備，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，我公司的高溫電爐關(guān)鍵部件全部采用進口部件，仿國外先進熱處理制造技術(shù)，已經(jīng)被中科院、國內(nèi)各大院校、國內(nèi)多家知名廠家選為長期供貨商，專業(yè)團隊設(shè)計制造，可根據(jù)客戶不同需求定制，廠家直接供貨，質(zhì)優(yōu)價廉。 二、管式擴散爐特點 ◆軟著陸載片裝置 軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴散均勻性，同時槳的清洗周期大幅度延長。 ◆高精度溫度控制 新型爐體設(shè)計，提高了溫度穩(wěn)定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。 ◆高性能進口元器件組合 關(guān)鍵件采用進口管件，且為半導(dǎo)體級別；優(yōu)質(zhì)的元器件組合，從而保證成膜質(zhì)量。 三、管式擴散爐主要技術(shù)參數(shù) ◆工藝管數(shù)量：1-4管 ◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸） ◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型 ◆工作溫度范圍：400～1280℃ ◆恒溫區(qū)長度及精度±0.5℃/1080mm ◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆） ◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S ◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s ◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房） 噪音：≤62dB（A） 震動：≤3μm ◆控制方式： 工業(yè)微機控制 ◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制 青島晨立電子有限公司可根據(jù)客戶需求定制各種非標管式爐、高溫爐、擴散爐、焊接爐、硒化爐、氣氛爐、烤盤爐、擴散爐控制系統(tǒng)、真空爐、升華爐、隧道爐、氧化爐、退火爐、LPCVD爐、氫氣爐、工業(yè)爐體等各種工業(yè)電爐、實驗電爐等高溫設(shè)備。專業(yè)團隊個性化定做，廠家直接供貨，歡迎廣大客戶來電來函。