更多技術(shù)問題請聯(lián)系 陳楊：157 0129 8260 QQ：1611 2809 42 ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 Aerotech ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和無誤差運(yùn)動性能。ABR1000精密轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)用于滿足晶圓檢測，DVD控制，磁盤驅(qū)動器測試和伺服寫入，光學(xué)檢查和裝配以及MEMS微型機(jī)電系統(tǒng)和納米技術(shù)裝置裝配等苛刻要求。  ★ 直驅(qū)無刷無槽伺服電機(jī)  ★ 零齒槽效應(yīng)帶來顯著的速度穩(wěn)定性  ★ 顯著的無誤差無抖動運(yùn)動特性  ★ 直徑：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 雙向重復(fù)性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec ARMS 機(jī)械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 ARMS Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ARMS系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺為慣性部件和系統(tǒng)提供優(yōu)秀的角速率、加速度和定位，例如：微電子機(jī)械系統(tǒng)、陀螺儀、慣性測量單元、航空電子設(shè)備和導(dǎo)航加速度計(jì)。 孔徑：8 mm - 25 mm 分辨率：0.02 - 2 arc sec 精度：（校準(zhǔn)）±2.5 arc sec Aerotech 的 ABRT 系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出眾的角度定位，速度穩(wěn)定性和無誤差運(yùn)動性能，并且擁有令人印象深刻的有效負(fù)載能力及顯著的軸向和徑向剛性。ABRT 精密轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)用于當(dāng)前的 DVD 母盤制作， wafer 檢查，高精度度量衡應(yīng)用， X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和加工，以及微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)/納米技術(shù)裝置的制造裝配等應(yīng)用。 ★ 臺面直徑：100-200 mm ★ 分辨率：0.055-0.027 arc sec ★ 雙向重復(fù)性： <1 arc sec Aerotech 的 ADRT 系列精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出眾的角度定位和速度控制。ADRT精密轉(zhuǎn)臺應(yīng)用范圍從分度到高速激光設(shè)備到精密硅片檢測。 ★ 直徑：146 - 260 mm ★ 精度：±30 arc sec ★ 負(fù)載：30 - 173 kg ADR175/240 機(jī)械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 ADR75 機(jī)械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 ADR75 Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ADR系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺提供出色的角度定位和速度控制。典型應(yīng)用包括高速激光加工和精密晶圓檢查。 直徑：75 mm 精度：±5 arc sec 負(fù)載：3 kg ADR175/240 Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ADR系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺提供出色的角度定位和速度控制。其應(yīng)用范圍從高速激光加工到精密硅片檢查。 直徑：175 mm 精度：±5 arc sec ADR160 機(jī)械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 更高的重復(fù)性和精度。 直徑：160 mm 精度：±5 arc sec 負(fù)載：25 kg 負(fù)載：25 kg 直徑：240 mm 精度： ±1 arc sec 負(fù)載：135 kg ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 Aerotech ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和無誤差運(yùn)動性能。ABR1000精密轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)用于滿足晶圓檢測，DVD控制，磁盤驅(qū)動器測試和伺服寫入，光學(xué)檢查和裝配以及MEMS微型機(jī)電系統(tǒng)和納米技術(shù)裝置裝配等苛刻要求。  ★ 直驅(qū)無刷無槽伺服電機(jī)  ★ 零齒槽效應(yīng)帶來顯著的速度穩(wěn)定性  ★ 顯著的無誤差無抖動運(yùn)動特性  ★ 直徑：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 雙向重復(fù)性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 Aerotech ABR1000 空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和無誤差運(yùn)動性能。ABR1000精密轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)用于滿足晶圓檢測，DVD控制，磁盤驅(qū)動器測試和伺服寫入，光學(xué)檢查和裝配以及MEMS微型機(jī)電系統(tǒng)和納米技術(shù)裝置裝配等苛刻要求。  ★ 直驅(qū)無刷無槽伺服電機(jī)  ★ 零齒槽效應(yīng)帶來顯著的速度穩(wěn)定性  ★ 顯著的無誤差無抖動運(yùn)動特性  ★ 直徑：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 雙向重復(fù)性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec