高純氬氣純化設備 一、概述 氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣體，為了提高硅晶體的質量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時，水分也小于1ppm時，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求，贏得客戶的滿意和市場的需求。 由于一般液氬汽化后未經過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍，使用氬氣的客戶不知道其質量，所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何，只要經過純化裝置的處理后，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。 一般氧含量小于0.5ppm，水分小于1ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對生產晶體的質量是有保證的。 二、關于氬氣純化的方法 第一種 直接脫氧法。就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進行反應，消化掉氬氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經過分子篩吸收掉氬氣中的水份，使氬氣的含水量小于1ppm。 第二種 是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經吸收處理后，氬氣的純度可達到6個九，這種保護氣體更適用于制作高純度的半導體的單晶硅。 利用吸氣劑純化后氬氣的純度： O2≤0.2ppm H2≤0.5ppm N2≤1ppm CO+CO2≤0.5ppm CH4≤0.5ppm 水份≤1ppm 第一種方法設備投資小，設備中脫氧劑的使用壽命一般大于四年。 第二種方法設備純化純度高但投資相對較大，吸氣劑使用壽命為兩年。 ` ★：本公司也可根據(jù)客戶要求，直接做高壓的，這樣就可省掉使用模壓機增壓工序。 還可根據(jù)客戶要求，配備分析儀在線時時檢測設備中氣體純度。 三、氬氣用途 高純氬氣用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。 主要用途：歡迎新老用戶選擇我公司產品：氬氣凈化機，氬氣凈化器，高純氬氣凈化，高純氬氣凈化設備，高純氬氣純化設備，高純氬氣純化裝置，YAC系列氬氣凈化設備，全自動氬氣純化設備，大型氬氣凈化設備，硅材料行業(yè)用氬氣凈化設備，硅材料用除氧、除水氬氣純化裝置,氣站專用氬氣凈化設備，氣站專用氬氣純化器，氣站用高純氬設備,單晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設備，多晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設備,高純氬氣提純設備，氬氣提純機,高純氬氣過濾器。