- 價格范圍:電議或面議
- 供應(yīng)數(shù)量:5
- 所在區(qū)域:山東
- 產(chǎn)品類別:
鍋爐
>工業(yè)鍋爐
- 發(fā)布時間:2015-07-01 03:00:04
- 青島福潤德微電子有限公司
- 聯(lián)系人:齊紅娟
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- 地址:青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品應(yīng)用:應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域,適用2~8英寸工藝尺寸
產(chǎn)品特點:
◆主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架,獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制
◆采用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口,確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),流量控制采用質(zhì)量流量計(MFC)進(jìn)口
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命