CVD（G）系列真空高溫管式爐專門設(shè)計用于高溫CVD工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。 窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)硅鉬棒加熱，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛, 系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用浮子流量計控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制，設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備。 一、 技術(shù)指標(biāo)： 設(shè) 備 型 號 NT-CVD(G)-08/50/1 溫區(qū)最高溫度 1650℃；(最長恒溫時間：≥10小時)；常用溫度：1600℃ (最長恒溫時間：≥100小時) 加熱有效容積 Φ72（內(nèi)經(jīng)）×500mm;恒溫區(qū)尺寸：Φ72（內(nèi)經(jīng)）×250mm 爐管實(shí)際尺寸 Φ80（外徑）×1400mm （國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管） 爐 膛 材 料 氧化鋁纖維制品 控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù) 1個，1支B分度熱電偶 設(shè)備溫場溫差 ±1℃ ，日本島電進(jìn)口40段程序控制儀表(1只) 加 熱 元 件 優(yōu)質(zhì)硅鉬棒 最大加熱功率 12Kw 保 溫 功 率 5kw 最大升溫速率 3℃∽10℃/min; 最大降溫速率 3℃∽7℃/min 溫度均勻性 ±3℃(有效范圍：Φ72×250mm) 氣路配件材料 氣路配件材料，端頭不銹鋼發(fā)蘭密封， 一路氣體采用浮子流量計控制， 所有管道和閥門采用不銹鋼元件 極 限 真 空 ≤10Pa（常溫） ,一級機(jī)械泵（配電磁閥）。 壓升率 ≤5Pa/h 　　　 1000℃時可抽真空，能通氮?dú)獗Ｗo(hù) 外型參考尺寸 1250（L）×1650（H）×650（w）mm 輸入動力電源 單相電源，50HZ ，220V±10%；10KW 爐體表面溫升 ≤45℃