名稱：WS-1000濕法刻蝕設(shè)備Wet Station

產(chǎn)地：美國
品牌：Laurell
濕法設(shè)備Wet Station

濕法刻蝕設(shè)備特征：
 All white polypropylene construction
 Any Laurell Spin Processor(s) installed
 Easy-access Nitrogen&DI Spray guns
 Need a smaller size?-see our MINI

 全白色聚丙烯構(gòu)造
 可內(nèi)置任何Laurell公司的勻膠機（即旋涂儀）
 排放簡便的入氮口和DI噴頭
 如果需要更小尺寸——有微型濕法設(shè)備Wet Station供選擇

GENERAL INFORMATION
濕法刻蝕設(shè)備一般信息
The Laurell WS-1000 Series Spin-Process Stations allow a fully configuredtested module to be constructedshipped complete-requiring only the minimum of installation time. Easy to loadoperate-everything is in convenient reach to the operator.
Laurell公司的WS-1000系列旋轉(zhuǎn)處理濕法設(shè)備Wet Station可以被配置成測試模塊構(gòu)造，安裝簡便，易于拆卸，更便于操作者控制。
Typical processes for the WS-1000 include, but are not limited to:
典型的WS-1000濕法刻蝕設(shè)備Wet Station處理過程包括（但不限于）：
 Coating
 Etching
 Developing-Aqueous/Solvent
 Cleaning-Aqueous/Solvent
 Yes, Sulfuric/Peroxide(insitu mixing)
 Yes, HBr
 Temperature-controlled Developing
 Rinsing/Drying
 涂敷
 蝕刻
 開發(fā)-水/溶劑
 清洗-水/溶劑
 確認，硫酸/雙氧水（原樣混合）
 確認，HBr
 溫控開發(fā)
 沖洗/烘干
Wet Station Features:
濕法刻蝕設(shè)備Wet Station特點：
All polypropylene construction(Self-extinguishing available-see below)
Accommodates the installation of any Laurell spin processor
Perforated wet-deck(easily removable)
Wet plenum
Exhaust Plenum with gauge
Isolated component/drawer below for heaters, pumps, vessels…
全聚丙烯構(gòu)造（見下文的自滅火功能）
可兼容安裝任何Laurell 旋涂機
有排孔的濕隔層（易于拆除）
潮濕的空間
標準規(guī)格的排氣空間
被熱水器，水泵，容器等隔離的組件/容器
Wet StationOptions:
濕法刻蝕設(shè)備Wet Station選項：
 Processor exhaust interlockcontrol(standard on some models)
 Heating&insitu material stirring
 Rinse to resistivity
 Drain diverter(s)
 Vacuum loading wand
 Wafer cassette stand
 Leak detection
 Light towers
 排氣聯(lián)鎖控制處理器（一些型號是標準的）
 加熱和原材料攪拌
 抵抗力沖洗
 排水轉(zhuǎn)向裝置
 真空負荷棒
 晶片盒座
 檢漏
 輕塔

Advanced materials available if required
濕法刻蝕設(shè)備Wet Station可以根據(jù)要求采用更高級的材料

Better
更好的濕法設(shè)備Wet Station
WS-1000-CP5-meets SEMI S93 specification for fire safety in clean room applications. CP5 meets UL94 V-O fire classification. It has an excellent babance of physical properties, chemical resistancefire safety.
WS-1000-CP5 濕法設(shè)備Wet Station符合SEMI S93標準應(yīng)用在消防安全和潔凈空間等領(lǐng)域。CP5符合UL94 V-O 火災(zāi)分類標準。它具有優(yōu)良的平衡的物理性能，耐化學**性和耐火性。

Best
最佳的濕法設(shè)備Wet Station
WS-1000-CP7-D-a flame retardant polypropylene formulation who’s flame retardant characteristics meet the most rigorous FMRC 4910 testing standards for most aspects of flame retardation, self-extinguishing characteristicsburn-through. This advanced material also meetsexceeds test standards for low smoke generationminimal toxic by-products.
WS-1000-CP7-D濕法設(shè)備Wet Station的材料阻燃特性符合最嚴格的FMRC 4910測試標準，滿足多方面條件下的難燃性，自熄特點和徹底燃燒。這種先進的材料也達到或超過產(chǎn)生低煙和最小*副產(chǎn)品的檢測標準。