超低溫冷凝器
-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
    在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，
但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。
深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
    深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，
迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、
獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類：
1、水汽捕集器
    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。
適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，
避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。