手動探針臺 XH-MP150設備是增強型手動分析探針臺，用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺，可吸附多種規(guī)格的圓片及芯片，并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。設備可代替美國CASCADE公司的EPS150系列的手動探針臺。 技術指標 性能名稱 技術指標 可測圓片尺寸 2″、3″、4″、6″ 工作臺 行程 160mm×160mm 結構 精密高剛性直線導軌，滾珠絲杠 分辨率 0.001mm-0.01mm（根據需求絲桿導程可選） 操作方式 手輪 承片臺Z向 接觸/分離 行程 0.5mm 承片臺θ向 微調范圍 ±15° 針座平臺 升、降行程 25mm 接觸/分離 0.66mm 吸片盤 吸片方式 真空吸附 分檔 （2″、3″）、4″、6″單獨真空吸附，三檔可選 顯微鏡及配件 微調支架 X方向 120mm ，Y方向60mm，手輪可調 顯微鏡 雙目體視顯微鏡45X 照明燈 LED環(huán)形燈 相關配件 打點器 可調三維座，驅動DC24V 測試探針 高彈性鎢針 三維針座 磁性吸附式，可調范圍：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm， z: ±6.5mm 設備重量 約30 KG 外形尺寸 610mm×560mm×500mm（長×寬×高） 使用環(huán)境 電源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz 功率 0.05kW 真空 -80 KPa 環(huán)境溫度 15oC-30oC 相對濕度 ＜60%