薄膜方塊電阻測(cè)試儀
薄膜方塊電阻測(cè)試儀主要用來(lái)測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。它由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架、四探針頭及專業(yè)測(cè)量軟件組成。 
 
功能特點(diǎn)  
本套儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。主機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。主機(jī)配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本套儀器使用專用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、存儲(chǔ),求平均值，最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
 技術(shù)參數(shù)  
測(cè)量范圍
■ 可測(cè)方塊電阻：0.001～1.9*105Ω·□

探針
■ 使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
■ 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，保證探針的小游移率。
■ 采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨(dú)立、準(zhǔn)確的壓力。
■ 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。

恒流源
■ 輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
■ 量程：
0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
■ 恒流精度：各檔均低于±0.05

直流數(shù)字電壓表
■ 測(cè)量范圍：0～199.99mV
■ 靈敏度：10μV
■ 基本誤差：±（0.004讀數(shù)+0.01滿度）
■ 輸入阻抗：≥1000ΩM

供電電源
■ AC 220V±10 50/60 Hz 功率：12W

使用環(huán)境
■ 溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65
■ 無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射

重量、體積
■ 主機(jī)重量：7.5kg
■ 體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）