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單面研磨機(jī)的工作原理：
將被磨、拋材料放于研磨盤(pán)上，研磨盤(pán)逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)，修正輪帶動(dòng)工件自轉(zhuǎn)，重力加壓的方式對(duì)工件施壓，工件與研磨盤(pán)作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦，來(lái)達(dá)到研磨拋光目的。研磨盤(pán)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤(pán)的研磨面進(jìn)行精密修整，得到理想的平面效果。
雙面研磨機(jī)的工作原理：
上、下研磨盤(pán)作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制。雙面研磨機(jī)的裝置包括兩個(gè)研磨盤(pán)，游輪，四個(gè)電機(jī)，太陽(yáng)輪，修面機(jī)等。兩者相比較，雙面研磨機(jī)的構(gòu)造相對(duì)要復(fù)雜一些，但是如果需要雙面研磨的工件用雙面機(jī)進(jìn)行研磨比單面機(jī)的效率無(wú)形中要快一倍。這種雙面研磨機(jī)的誕生和發(fā)展為很多行業(yè)的生產(chǎn)效率帶來(lái)了改良。用的比較多的有光學(xué)玻璃行業(yè)的硅片，藍(lán)寶石襯底，外延片等等。