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藍寶石襯底臺階儀及干涉儀 對蝕刻圖形化后的藍寶石襯底進行測量 結合常規(guī)的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術 長程掃描:最大100mm 短程掃描:采用精確的壓電陶瓷驅動掃描
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