號(hào) | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | ||
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 | |||
測(cè)量 范圍 |
X 軸 | 100mm | 200mm | |||||
Z1 軸(檢出器) | 60mm (水平位置±30mm) | |||||||
Z2 軸 (立柱) 移動(dòng)范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | ||||
Z1 軸 (檢出器) |
光柵尺類(lèi)型 | 弧形 | ||||||
分辨力 | CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm | |||||||
測(cè)針上/ 下運(yùn)作 | 弧形移動(dòng) | |||||||
測(cè)量方向 | 向前/ 向后 | |||||||
測(cè)針?lè)较? |
CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨(dú)測(cè)量) CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據(jù)配重調(diào)整) |
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測(cè)力 |
CV-3200 系列: 30mN (上下可連續(xù)測(cè)量) CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換) |
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跟蹤角度 | 向上: 77º, 向下: 83º(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針*1) | |||||||
驅(qū)動(dòng)部 |
長(zhǎng)度基準(zhǔn) | X 軸 | 激光全息光柵尺 | |||||
Z2 軸 (立柱) | ABS 光柵尺 | |||||||
分辨力 | X 軸 | 0.05 µm | ||||||
Z2 軸 (立柱) | 1 µm | |||||||
驅(qū)動(dòng)速度 | X 軸 | 0 - 80mm/s 外加手動(dòng) | ||||||
Z2 軸 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手動(dòng) | |||||||
測(cè)量速度 | X 軸 | 0.02 - 5mm/s | ||||||
直線(xiàn)度*2 | X 軸 | 0.8µm/100mm | 2µm/200mm | |||||
傾角范圍 | X 軸 | ±45º | ||||||
精度 (20ºC) |
CV-3200 系列 |
X 軸 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) 寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) 寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm |
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Z1 軸(檢出器) | ±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測(cè)量高度 (mm) | |||||||
CV-4500 系列 |
X 軸 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) 寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) 寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm |
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Z1 軸(檢出器) | ±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測(cè)量高度 (mm) | |||||||
外形尺寸 (W×D×H) | 主機(jī)*3 |
756×482x 966mm |
756×482x 1166mm |
1156×482 x1176mm |
766×482 x966mm |
766×482 x1166mm |
1166×482 x1176mm |
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重量 | 主機(jī) | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg |