儀器特性:
◆該系統(tǒng)配備一款通用型落射照明器,它可以滿足各種觀察需求,如
明場、暗場、簡易偏光、DIC以及落射熒光,根據(jù)工件或觀察目的,
可以選購高亮度12V-50W鹵素?zé)艄庠春桶咨獿ED光源;
◆這是一個基于一個不僅能測量長度,還能通過目鏡的觀察來檢查表
面的處理狀態(tài)或其它要素的顯微鏡的高附加值系統(tǒng);
◆帶有閃爍控制的新光學(xué)系統(tǒng)可在大視野范圍內(nèi)產(chǎn)生清晰的正像(2X
與常規(guī)產(chǎn)品相比,減少了80%的閃爍);
◆在一臺顯微鏡中集成了金相顯微鏡和測量顯微鏡的功能,能提供高
分辨率觀察和高精度測量;
◆在立柱兩側(cè)標(biāo)準(zhǔn)配Z軸粗/微調(diào)手柄,可進行精確調(diào)焦和觀察測量;
◆可選配視像裝置等多種選件,使標(biāo)準(zhǔn)測量顯微鏡更具魅力。
應(yīng)用:半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板(LCM)、MEMS、晶片級CSP、硬盤滑行磁頭。
技術(shù)參數(shù):
儀器型號
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QI-U400
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QI-U800
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MM-U400
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MM-U800
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X Y測量行程
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4*4 8*4
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8*6 12*8
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4*4 8*4
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8*6 12*8
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Z軸調(diào)焦
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150mm
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150mm
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150mm
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150mm
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載重量
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15Kg
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15Kg
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15Kg
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15Kg
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分辯率
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0.001/0.0005/0.0001mm
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測量精度
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(2.5+L/200)um,L=測量長度(單位:mm)
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鏡頭
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三目鏡筒:目鏡帶十字線物鏡10X 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器:5X、10X
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放大倍率(選配)
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光學(xué)放大倍率0.7-4.5X,影像放大倍率19-180X
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影像系統(tǒng)(選配)
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高解析度臺灣敏通1/2″彩色CCD攝像頭/高解析度日本W(wǎng)ATEC 1/2″彩色CCD攝像頭
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重復(fù)性
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2um
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操作方式
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手動
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外形尺寸
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1000*600*1400mm
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1200*720*1600mm
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1000*600*1400mm
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1200*720*1600mm
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機身重量
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100kg
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120kg
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100kg
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120kg
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工作臺底座
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工作臺鑄鐵采用天然失效處理,配合瑞士進口SCHNEEBERGER導(dǎo)軌
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最大工件高度
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170mm
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輪廓照明
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LED DIA Illuminator (LED底部光源)
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表面照明
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LV-HL50W 12V50W-LL Halogen Lamp(鹵素?zé)襞? / 環(huán)形LED照明
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電源
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TE-PS100W Power supply (100-240v)電源
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