四氟甲烷,亦稱四氟化碳,全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。相對分子量:88.00。在常溫下,四氟甲烷是無色,無臭,不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn):-128℃,熔點(diǎn):-183.6℃。液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(shù)(25℃,0.5Mpa)1.0006。揮發(fā)性較高,是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,在900攝氏度時(shí),不與鋼,鎳,鎢,鉬反應(yīng),僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí), 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物,危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。
用途
四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅,二氧化硅,氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù),氣相絕緣,超低溫制冷劑,泄漏檢驗(yàn)劑,印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
靂利(上海)實(shí)業(yè)有限公司,是一家專營國產(chǎn),進(jìn)口制冷劑和冷凍油的企業(yè).公司地處上海市閔行區(qū)。
主要經(jīng)銷制冷劑和冷凍油產(chǎn)品:
制冷劑系列品牌:巨化,杜邦,英利士,霍尼韋爾,等國產(chǎn),進(jìn)口氟制冷劑;
制冷劑產(chǎn)品種類:R21,R22,R23,R113,R114,R123,R124,R125,R134A,R141B,R142B,R152A,R245FA,R290,R404A,R407C,R408A,R410A,R415B,R502,R503,R507,R508…...
冷凍油系列品牌:CPI,太陽,冰熊,福斯,加德士,嘉實(shí)多,昆侖,美孚,英國石油BP,道達(dá)爾,等國產(chǎn),進(jìn)口冷凍油
冷凍油產(chǎn)品種類:冰熊RL22H ,RL32H ,RL68H太陽3GS ,4GS ,5GS,CPI 4214-320 ,CPI Solest LT-32,嘉實(shí)多 SW32,SW46,SW68 BP LPT68,LPT32 ,昆侖 46#,68#, 比澤爾 B5.2 ,BSE32,BSE55…...............
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