貨號(hào)： SURFIEW 6000 規(guī)格： 面議 Master 反復(fù)性、準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性極佳 框架一體型 自動(dòng)鏡頭調(diào)整鈕 優(yōu)秀的Capacity Sensor 自動(dòng)濾鏡 縫紉功能 自動(dòng)對(duì)焦功能 安裝3個(gè)變焦距鏡頭 自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)測(cè)量模式 產(chǎn)品概要 三維表面輪廓儀利用光的干擾，可迅速，準(zhǔn)確，并高檢測(cè)性的對(duì)1nm~10mm高度的模型的表面想象進(jìn)行納米單位測(cè)量。相比接觸性方式，不會(huì)對(duì)測(cè)量物造成任何損傷，相比共焦方式，高解像力無關(guān)倍率均可得到統(tǒng)一結(jié)果，與AFM相比，可在寬測(cè)量領(lǐng)域內(nèi)快速測(cè)量。 高度解像力0.1nm 任何倍率下，解像力均統(tǒng)一 測(cè)量納米等級(jí) 測(cè)量高速，高精密度，高解像力表現(xiàn)形象 可測(cè)量透明/半透明/不透明登各種樣品 無需非破壞，預(yù)加工程序即可輕松測(cè)量 反復(fù)性，準(zhǔn)確性，重現(xiàn)性極佳 應(yīng)用領(lǐng)域 60002.jpg 主要特征 測(cè)量高度，長(zhǎng)度，段差，線，圓，弧，角度，款，寬，距離 面粗糙度，線粗糙度，波形 測(cè)量劃痕，磨損，缺陷 測(cè)量面積，大小 測(cè)試原理 QQ圖片20180717102724 拷貝.jpg 利用光的干涉信號(hào)，將表面的形狀到1nm~10cm為止，沒有材料的破損，從相機(jī)中顯示的全部領(lǐng)域，正確，檢測(cè)到高強(qiáng)度為單位。 干涉信號(hào)是在任意義的基準(zhǔn)點(diǎn)中，同時(shí)出現(xiàn)的光在移動(dòng)到不同的場(chǎng)景（optical path），在移動(dòng)后合上的時(shí)候，用兩個(gè)場(chǎng)景（optical path）的物理現(xiàn)象，是一種明亮的明亮的形態(tài)，這是干涉信號(hào)。 精密的Piezo掃描 高度以Piezo掃描通過Capacity Sensor進(jìn)行Closed Loop 整體掃描范圍的0.1%呈線性 通過1次校準(zhǔn)，2次校準(zhǔn)，提高數(shù)據(jù)可靠性 Scan范圍 Scan范圍：100um，150um, 300um, 500um, 10mm 變焦鏡頭 變焦鏡頭: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x 物鏡 2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x 干涉鏡頭 干涉鏡頭(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x 干涉鏡頭(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x Multi濾光鏡 多種濾光鏡選擇 調(diào)整干涉鏡頭 隨溫度變化的干涉紋樣調(diào)整 操作臺(tái) 真空操作臺(tái)，選擇操作臺(tái)，Aligner操作臺(tái)