主要用途： 本設(shè)備主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學玻璃、石英晶體、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的高速減薄。 立式減薄機主要特點： 1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤，吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制，直徑320-600mm。。 2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸，驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。 3、砂輪進給模式分三段設(shè)置，能更方便地設(shè)置有效的減薄方案，提高減薄后的精密度和表面效果， 4、對刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下，針對不同厚度的工件只需要一次對刀就可以連續(xù)工作，不需要每次都要對刀。 5、本機采用高精密絲桿及導軌組件，驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是砂輪的進刀速度，速度0.001-5mm/min可調(diào)，控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。 6、本機采用先進的臺灣品牌PLC和屏，自動化程度高，實現(xiàn)人機對話，操作簡單一目了然。 7、設(shè)備可檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度，從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損，自動補償砂輪磨損厚度尺寸，可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。 2.減薄效率高，LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度最高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度最高可減薄250微米。 主要技術(shù)參數(shù)： 吸盤盤規(guī)格 Φ320~Φ600 主電機 2.2KW/ 0~280RPM 光柵控制系統(tǒng) 分辨率0.001mm 砂輪規(guī)格 Φ150~Φ310 砂輪進給伺服電機 750W 磨輪重復定位精度 3um 減薄工件厚度b 0.08mm≤b≤50mm 高速旋轉(zhuǎn)主軸 4.5KW/ 3000~8000RPM 工作工位 依據(jù)產(chǎn)品而定 減薄平行度 ±2um（50x50） 砂泵電機/冷卻電機 AB-100 250W 設(shè)備外形尺寸 1150x200x1750mm（長x寬x高） 研磨工件理想規(guī)格 Φ50 設(shè)備質(zhì)量 700kg