一、 概述： 參照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》，采集高精密集成電路恒流源系統(tǒng)，提供便捷的操作模式，便攜式外形結(jié)構(gòu)，可充電式電源系統(tǒng)，中英文語言版本. 二、 功能介紹： 便攜式外形結(jié)構(gòu)更加適用于車間生產(chǎn)、品管抽檢，外出攜帶測量等要求快速便捷測量的場所；也適用于中小型半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè).具有高性價(jià)比優(yōu)勢. 液晶顯示，顯示方阻、電阻率、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度，樣品厚度單位從米到納米均可輸入，自動(dòng)測量、質(zhì)量輕便，操作簡便； 三、適用范圍： 廣泛用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料 硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等. 四、技術(shù)參數(shù)資料 規(guī)格型號 FT-391A FT-391B FT-391C 1.方塊電阻范圍 10～2.00×102Ω/□ 10～2.00×103Ω/□ 10～2.00×104Ω/□ 2.電阻率范圍 1～2×103Ω-cm 1～2×104Ω-cm 1～2×105Ω-cm 3.分辨率 0.01Ω 0.01Ω 0.01Ω 4.顯示讀數(shù) 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 5.測試方式 單電測量 6.工作電源 5V,1000mA 7.整機(jī)不確定性 ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） 8.選配 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針