ITO玻璃真空鍍膜線

ITO膜鍍膜生產(chǎn)線是在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術(shù)，孿生陰極，中頻濺射技術(shù)，并配以國際先進(jìn)的控制系統(tǒng)，鍍制SO2/ITO膜層，生產(chǎn)過程全部自動(dòng)，連續(xù)進(jìn)行。

 ITO（Indium Tin Oxides）作為納米銦錫金屬氧化物，具有很好的導(dǎo)電性和透明性，可以切斷對(duì)人體有害的電子輻射，紫外線及遠(yuǎn)紅外線。因此，噴涂在玻璃，塑料及電子顯示屏上后，在增強(qiáng)導(dǎo)電性和透明性的同時(shí)切斷對(duì)人體有害的電子輻射及紫外、紅外。本鍍膜設(shè)備是在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術(shù)，孿生陰極，中頻濺射技術(shù)，并配以國際先進(jìn)的控制系統(tǒng)，鍍制SO2/ITO膜層，生產(chǎn)過程全部自動(dòng)，連續(xù)進(jìn)行。ITO膜鍍膜生產(chǎn)線技術(shù)特點(diǎn)
1) 真空室體材料采用 SUS304 ，真空室內(nèi)壁進(jìn)行拋光處理，外壁采用拋光后噴珠處理。
2) 真空室之間采用獨(dú)立門閥—插板閥隔開，可以實(shí)現(xiàn)有效隔斷，穩(wěn)定工藝氣體。目前我們公司采用插板閥設(shè)計(jì)，它比目前國內(nèi)通用的翻板閥密封效果更好，更耐用。
3) 傳動(dòng)采用磁導(dǎo)向，保障傳動(dòng)的穩(wěn)定性。整條生產(chǎn)線的各段速度采用變頻調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)，運(yùn)行速度可調(diào)節(jié)。
4) 電氣控制系統(tǒng)：觸摸屏與 P L C 自動(dòng)控制，人機(jī)對(duì)話方式來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)顯示、操作與控制技術(shù)參數(shù)
1) 極限真空壓力：6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生產(chǎn)周期：根據(jù)產(chǎn)品確定
3) 基片架尺寸：可以根據(jù)要求定做
4) 膜層均勻性: ± 3％先進(jìn)的移動(dòng)磁場(chǎng)技術(shù)大大提高了靶材利用率
分段式加熱設(shè)計(jì)，有利于工藝優(yōu)化。產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、觸摸屏、太陽能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。