Filmetrics Profilm3D光學(xué)輪廓儀 
三維光學(xué)輪廓儀、3D 光學(xué)表面輪廓儀

低成本-高精度

Filmetrics 讓光學(xué)輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠，Profilm3D 使用了最先進(jìn)的垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高精確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級。

100毫米自動(dòng)XY樣品平臺

你還為了每位使用者都需要的功能額外付費(fèi)嗎? 我們每臺Profilm3D 都已將自動(dòng)XY樣品平臺以及tip/tilt 功能列為標(biāo)準(zhǔn)配備。

最大視野

The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。可進(jìn)一步減少總體成本，本司也提供手動(dòng)或自動(dòng)物鏡切換炮塔等配置可彈性運(yùn)用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣片。

性能規(guī)格
 
厚度范圍, VSI:      50 nm - 10 mm
厚度范圍, PSI:      0 - 3 μm
RMS 重復(fù)性, VSI:    1.0 nm
RMS 重復(fù)性, PSI:    0.1 nm
臺階高度 準(zhǔn)確性1:   0.7%
臺階高度 重復(fù)性2:   0.1%
樣品反射率范圍:     0.05% - 100%
ISO 25178 兼容:     是
 

機(jī)械規(guī)格

Z 范圍:             100 mm
Piezo (壓電)范圍:   500 μm
垂直掃描速度:       12 μm/sec
XY 平臺類型:        自動(dòng)
XY 平臺范圍:        100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平臺:      +/- 5°, 手動(dòng)
相機(jī):               2592 x 1944 (5 百萬像素)
相機(jī)變焦 3:         1X, 2X, 4X
系統(tǒng)尺寸，寬x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系統(tǒng)重量:           15 公斤

選購配件
手動(dòng) 4-物鏡炮塔及位置感測
自動(dòng) 4-物鏡炮塔及位置感測