電子工業(yè)高純水設(shè)備中,生產(chǎn)單晶硅半導(dǎo)體材料,二極管,三極管,集成電路,光,硬盤,顯象管時(shí),都需要達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的工藝用水,在我國(guó),電子級(jí)水共分五個(gè)級(jí)別,部分指標(biāo)如下:
指標(biāo) 級(jí)別
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
EW-Ⅴ
電阻率
MΩ.cm(25℃)
18
90%時(shí)間最小17
15
90%時(shí)間最小12
10
90%時(shí)間最小8
≥2
≥0.5
大于1μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/ml
1
5
10
100
500
大于0.5μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/m
100
300
500
1000
2000
細(xì)菌個(gè)數(shù),最大值,個(gè)/ ml
1
5
10
50
100
總有機(jī)碳含量,最大值
50
100
200
1000
5000
二氧化硅總含量,最大值
2
20
50
100
1000
電子級(jí)水基本制水流程如下:
原水 預(yù)處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水,超純水設(shè)備的生產(chǎn)有多年歷史,可按用戶的需求提供達(dá)到電子級(jí)別用水的生產(chǎn)線。